Press release

SCREEN Semiconductor Solutions et IBM Research vont collaborer en termes de recherche sur les processus logique avancés à Albany, État de New York

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KYOTO, Japon–(BUSINESS WIRE)–SCREEN Semiconductor Solutions Co., Ltd. (SCREEN) se prépare à installer cette année son premier de trois ensembles d’outils clés au Centre de recherche en nanotechnologie et semi-conducteurs d’IBM Research situé à Albany. Assurant le nettoyage de plaquette unique, de recuit laser et le revêtement/développement de piste, les technologies de SCREEN vont soutenir la

KYOTO, Japon–(BUSINESS WIRE)–SCREEN Semiconductor Solutions Co., Ltd. (SCREEN) se prépare à installer
cette année son premier de trois ensembles d’outils clés au Centre de
recherche en nanotechnologie et semi-conducteurs d’IBM Research situé à
Albany. Assurant le nettoyage de plaquette unique, de recuit laser et le
revêtement/développement de piste, les technologies de SCREEN vont
soutenir la recherche avancée en semi-conducteurs d’IBM, et compléter la
panoplie d’outils du centre d’excellence EUV installé à Albany, État de
New York.

« IBM poursuit un programme de recherche agressif qui repousse les
limites de la technologie des semi-conducteurs », a déclaré Mukesh
Khare, vice-président du Semiconductor Group d’IBM Research. « Des
innovations en matière de matériaux, de processus et de structures de
dispositifs sont essentielles pour accélérer la recherche technologique
et répondre aux futures exigences de l’informatique dématérialisée et
des systèmes cognitifs. »

« Nous sommes très heureux d’avoir été sélectionnés par IBM dans leurs
recherches sur les semi-conducteurs logiques avancés », a souligné
Tadahiro Suhara, président de SCREEN Semiconductor Solutions. « Pour
nous, cela confirme la valeur qu’apportent nos technologies et
ressources d’équipement SCREEN au perfectionnement des processus de
fabrication des semi-conducteurs, et ce dans de multiples domaines :
nettoyage humide, recuit thermique, et revêtement/développement de
piste. »

La première des trois installations SCREEN prévues pour IBM sera
l’Aquaspin SU-3200 qui a été conçu pour développer des applications de
nettoyage hautement sélectives, sans résidu ni avarie, pour fabriquer
les semi-conducteurs destinés aux nœuds avancés, notamment ceux de 7 nm
et au-delà. IBM va également évaluer les applications nano de recuit
laser UV, y compris l’activation de fusion et de recristallisation des
couches critiques, avec la livraison du système LT-3100 de Laser Systems
et des solutions de LASSE, la succursale européenne de SCREEN basée en
France. Nous prévoyons des résultats favorables qui permettront à IBM
d’intégrer le système double piste DT-3000 DUO afin de perfectionner les
processus d’auto-assemblage dirigé (DSA, Directed Self-Assembly), de
rotation diélectrique (SOD, Spin-On Dielectrics) et de revêtements sous
couche grâce aux appareils lithographiques de mise en forme du centre
d’excellence EUV.

Ces trois nouvelles panoplies d’outils SCREEN devraient être livrées
avant la fin de l’année aux salles de nettoyage du Centre de
nanotechnologie d’IBM Research, à Albany, situé sur le campus Colleges
of Nanoscale Science and Engineering (CNSE) de l’Institut polytechnique
de SUNY. Ces appareils conçus pour les plaquettes de 300 mm d’IBM vont
renforcer la présence de SCREEN à Albany.

À propos d’IBM Research

Depuis plus de sept décennies, IBM Research définit l’avenir des
technologies de l’information avec plus de 3 000 chercheurs dans
13 laboratoires situés sur les six continents. Les scientifiques d’IBM
Research comptent à leur actif les distinctions suivantes : six Prix
Nobel, dix médailles américaines de technologie, cinq médailles
américaines des sciences, six prix Turing, 19 lauréats de l’Académie
nationale des sciences et 19 personnes intronisées à l’US National
Inventors Hall of Fame.
Pour plus d’informations sur IBM Research,
consultez le sitewww.ibm.com/research.

À propos de SCREEN Semiconductor Solutions Co., Ltd.

SCREEN Semiconductor Solutions a été établie comme société du groupe
SCREEN Holdings en acquérant l’activité en semi-conducteurs de son
prédécesseur, Dainippon Screen. Fabricant spécialisé dans les
équipements de nettoyage de plaquette, de lithographie et de recuits
thermiques, SCREEN est l’un des 10 meilleurs fournisseurs d’équipement
du secteur mondial de la fabrication des semi-conducteurs.
Pour
plus d’informations, consultez le site www.screen.co.jp/eng/spe.

Le texte du communiqué issu d’une traduction ne doit d’aucune manière
être considéré comme officiel. La seule version du communiqué qui fasse
foi est celle du communiqué dans sa langue d’origine. La traduction
devra toujours être confrontée au texte source, qui fera jurisprudence.

Contacts

SCREEN Semiconductor Solutions Co., Ltd.
+81-75-417-2527
speinfo@screen.co.jp